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마이크로파를 이용한 대기압 플라즈마의 발생 및 Excitation temperature 진단에 관한 연구 = A study on generation of an atmospheric microwave induced plasma and measurement of excitation temperature
서명 / 저자 마이크로파를 이용한 대기압 플라즈마의 발생 및 Excitation temperature 진단에 관한 연구 = A study on generation of an atmospheric microwave induced plasma and measurement of excitation temperature / 문세연.
저자명 문세연 ; Moon, Se-Youn
발행사항 [대전 : 한국과학기술원, 2001].
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8011571

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학술문화관(문화관) 보존서고

MPH 01012

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초록정보

Microwave induced plasma was discharged by 2.45GHz microwave generator at atmospheric pressure. plasma which was discharged in a quartz tube requires some special condition - input power, tube diameter and size, gas flow rate - for stable state. Under these conditions. Optical diagnostic methods are used to know plasma characteristics. As one of the fundamental plasma diagnostics, the excited temperature of plasma was determined and plasma equilibrium model was compared with experimental result. From these results the character of atmospheric microwave induced plasma discussed.

대기압에서 2.45GHz 의 마이크로파를 이용하여 플라즈마를 발생시켰다. 플라즈마를 발생관내에서 안정적으로 발생시키기 위해서는 입력파워, 발생관의 지름 및 길이, 기체유속과 같은 특수한 조건이 요구되었다. 이러한 조건에서 발생된 플라즈마의 특성을 알기 위해 광학적인 진단 방법이 사용되었다. 기초적인 플라즈마 진단의 하나로서, 플라즈마 여기 온도(exciation temperature)가 측정되었으며, 이때 사용된 플라즈마 평형모델과 실험결과를 비교하였다. 이 결과를 토대로 대기압 마이크로파 플라즈마의 특성을 논의하였다.

서지기타정보

서지기타정보
청구기호 {MPH 01012
형태사항 iii, 53 p. : 삽도 ; 26 cm
언어 한국어
일반주기 저자명의 영문표기 : Se-Youn Moon
지도교수의 한글표기 : 최원호
지도교수의 영문표기 : Won-Ho Choe
학위논문 학위논문(석사) - 한국과학기술원 : 물리학과,
서지주기 참고문헌 수록
주제 대기압
마이크로파
플라즈마
Excitation temperature
진단
atmospheric
microwave
plasma
excitation temperature
diagnostics
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