Microwave induced plasma was discharged by 2.45GHz microwave generator at atmospheric pressure. plasma which was discharged in a quartz tube requires some special condition - input power, tube diameter and size, gas flow rate - for stable state. Under these conditions. Optical diagnostic methods are used to know plasma characteristics. As one of the fundamental plasma diagnostics, the excited temperature of plasma was determined and plasma equilibrium model was compared with experimental result. From these results the character of atmospheric microwave induced plasma discussed.
대기압에서 2.45GHz 의 마이크로파를 이용하여 플라즈마를 발생시켰다. 플라즈마를 발생관내에서 안정적으로 발생시키기 위해서는 입력파워, 발생관의 지름 및 길이, 기체유속과 같은 특수한 조건이 요구되었다. 이러한 조건에서 발생된 플라즈마의 특성을 알기 위해 광학적인 진단 방법이 사용되었다. 기초적인 플라즈마 진단의 하나로서, 플라즈마 여기 온도(exciation temperature)가 측정되었으며, 이때 사용된 플라즈마 평형모델과 실험결과를 비교하였다. 이 결과를 토대로 대기압 마이크로파 플라즈마의 특성을 논의하였다.
