The devolopment of micromachining technology enable to introduce new micro systems such as micro robot, micro satellite, and micro air vehicle, etc. These micro systems need small volume and weight. So the power source for micro systems also need small size and weight but large power capacity. Micro combustion engine is good solution for micro systems because of its large power density and small size due to micromachining technology. Micro combustion enigine must have larger size than quenching distance, the smallest size which flame sustain itself. And it needs the spark plug with reliability and proper gap distance. New micro reciprocating engine which fulfill these conditions has been designed, fabricated and operated. The combustion has been monitored in the combustion chamber(1㎣) of microengine. The displacement of piston has been 2700 microns. The ignitors have been worked after $10^6$ cycles. This research has shown the possibility for operation of the micro engine.
반도체 미세 가공 기술이 발달함에 따라 기존에 존재하지 않던 초소형 로봇, 초소형 비행기와 같은 Micro System들의 개념이 도입되어 활발한 연구가 진행되고 있다. 이러한 Micro System들은 전체 시스템의 크기와 무게가 줄어들면서 이에 필요한 동력원 역시 그 크기와 질량이 줄어들기를 원한다. 그러나 기존에 사용하던 배터리나 다른 동력원의 경우 그 전력 밀도가 낮아, 사용시간이 짧으며, 그 크기와 무게 또한 크다. 따라서, 에너지 밀도가 큰 연료들을 연소시켜 동력원을 얻는 것이 중요하다. 이에 따라 미세 내연 엔진 기관이 필요하게 되었다. 본 연구는 연소 가능한 크기중 가장 작은 연소실을 갖는 미세 내연 엔진 기관을 새로이 제안하였으며, 이를 제작하여 동력을 얻어내는 것에 성공하였다. 제안한 미세 내연 엔진 기관은 피스톤 왕복 운동을 이용한 것이며, 연소를 통하여 피스톤이 총 2.7밀리미터 이동하였다.
