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소장자료

상세 정보
서명 / 저자 D.C. 마그네트론 반응성 스퍼터링법으로 증착한 ITO박막에 있어서 고유응력, 배향성 그리고 밀도가 비저항에 미치는 영향 = Effect of density, intrinsic stress and crystallographic orientation on resistivity of ITO thin films deposited by D.C. magnetron reactive sputtering / 이정일.
저자명 이정일 ; Lee, Jung-Il
발행사항 [대전 : 한국과학기술원, 2000].
online access
Online Access /thesis_pdf_01/2000/2000M00098...  원문
서가 정보
등록번호 소장위치/청구기호 도서상태 반납예정일
8011085 학술문화관(문화관) 보존서고
MMS 00035  

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초록

상세 정보
형태사항 iv, 74 p. : 삽도 ; 26 cm
언어 한국어
일반주기 저자명의 영문표기 : Jung-Il Lee
지도교수의 한글표기 : 최시경
지도교수의 영문표기 : Si-Kyung Choi
학위논문 학위논문(석사) - 한국과학기술원 : 재료공학과,
서지주기 참고문헌 : p. 70-74
주제 산화물 전극
응력
밀도
마그네트론 스퍼터링
ITO
Stress
Density
Magnetron sputtering
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