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파장보다 작은 구멍이 있는 수직 공진 표면광 레이저 배열에 대한 연구 = Study on sub-wavelength aperture VCSEL array
서명 / 저자 파장보다 작은 구멍이 있는 수직 공진 표면광 레이저 배열에 대한 연구 = Study on sub-wavelength aperture VCSEL array / 박홍규.
발행사항 [대전 : 한국과학기술원, 2000].
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등록번호

8010666

소장위치/청구기호

학술문화관(문화관) 보존서고

MPH 00016

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리뷰정보

초록정보

In future optical memory systems, it is important to read and write high density information in the medium with high speed. To realize this, we suggest the sub-wavelength aperture VCSEL(vertical-cavity surface-emitting laser) array as an optical head. We manufacture a few hundred nano meter aperture on a metal-coated VCSEL using electron-beam lithography. New electron-beam writing method is proposed when electron-beam writer has no beam blanker. And we try to measure the near-field light from the aperture by NSOM(near-field scanning optical microscope).

서지기타정보

서지기타정보
청구기호 {MPH 00016
형태사항 [ii], 46 p. : 삽도 ; 26 cm
언어 한국어
일반주기 저자명의 영문표기 : Hong-Gyu Park
지도교수의 한글표기 : 이용희
지도교수의 영문표기 : Yong-Hee Lee
학위논문 학위논문(석사) - 한국과학기술원 : 물리학과,
서지주기 참고문헌 수록
주제 수직 공진 표면광 레이저
전자선 리토그래피
근접장
VCSEL
Electron-beam lithography
Near-field
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