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LIF 기법을 이용한 헬륨 플라즈마에서의 헬륨 준안정상태 밀도 측정 = Density measurement of He metastable state in He plasma using LIF method
서명 / 저자 LIF 기법을 이용한 헬륨 플라즈마에서의 헬륨 준안정상태 밀도 측정 = Density measurement of He metastable state in He plasma using LIF method / 이정범.
저자명 이정범 ; Lee, Jeong-Beom
발행사항 [대전 : 한국과학기술원, 1999].
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8009939

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MPH 99017

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초록정보

The laser induced fluorescence(LIF) method has been used to measure density of He $2^1$S metastable state in He plasma. He plasma has been generated by transfomer coupled plasma(TCP) source contained in multipurpose plasma chamber(MPC). The discharge condition was 10~60 mTorr pressure range and 100~1000 W rf power range. The laser system for this experiment was composed by Nd:YAG pumping laser and optical parametric oscillator (OPO), which can tune the laser wavelength over very broad range. The depletion of He matastable state is observed about 50~60 mTorr at 800 W rf power. We have confirmed this phenomenon also using optical emission spectroscopy (OES) and Langmuir probe measurement.

서지기타정보

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청구기호 {MPH 99017
형태사항 [v], 58 p. : 삽도 ; 26 cm
언어 한국어
일반주기 저자명의 영문표기 : Jeong-Beom Lee
지도교수의 한글표기 : 장홍영
지도교수의 영문표기 : Hong-Young Chang
학위논문 학위논문(석사) - 한국과학기술원 : 물리학과,
서지주기 참고문헌 : p. 56-58
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