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소장자료

상세 정보
서명 / 저자 반도체 소자의 선폭 및 피치 측정과 불확도 산정에 관한 연구 = Linewidth and pitch measurement of semiconductor devices and uncertainty estimation / 고영욱.
저자명 고영욱 ; Ko, Yeoung-Uk
발행사항 [대전 : 한국과학기술원, 1998].
online access
Online Access /thesis_pdf_01/1998/1998D00093...  원문
서가 정보
등록번호 소장위치/청구기호 도서상태 반납예정일
8009170 학술문화관(문화관) 보존서고
DME 98054  

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이용가능
대출가능확인

초록

상세 정보
형태사항 iii, 95 p. : 삽도 ; 26 cm
언어 한국어
일반주기 저자명의 영문표기 : Yeoung-Uk Ko
지도교수의 한글표기 : 김승우
지도교수의 영문표기 : Seung-Woo Kim
학위논문 학위논문(박사) - 한국과학기술원 : 기계공학과,
서지주기 참고문헌 : p. 91-95
주제 선폭
피치
주사 전자현미경
레이저 간섭계
정밀 스테이지
Linewidth
Pitch
Scanning electron microscope
Laser interferometer
Precision stage
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