서지주요정보
대면적 플라즈마 소스를 위한 TCP 병렬 안테나 디자인 연구 = Study on parallel planar antenna designs for large area plasma source
서명 / 저자 대면적 플라즈마 소스를 위한 TCP 병렬 안테나 디자인 연구 = Study on parallel planar antenna designs for large area plasma source / 배근희.
저자명 배근희 ; Bai, Guen-Hee
발행사항 [대전 : 한국과학기술원, 1998].
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8008456

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MPH 98014

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초록정보

Three parallel planar antenna designs for large area plasma source are investigated using double probe and B-dot probe. Butterfly antenna has highest density of $0.8-2×10^{11}cm^{-3}$ with highest density at center and has 1.5-2eV electron temperature which is lower than spiral antenna of 3eV. It is shown that power efficiency becomes low when there is closely spaced parallel antenna elements with oppositely directed currents or when elements with positive coupling.

서지기타정보

서지기타정보
청구기호 {MPH 98014
형태사항 ii, 69 p. : 삽도 ; 26 cm
언어 한국어
일반주기 저자명의 영문표기 : Guen-Hee Bai
지도교수의 한글표기 : 민경욱
지도교수의 영문표기 : Kyoung-Wook Min
학위논문 학위논문(석사) - 한국과학기술원 : 물리학과,
서지주기 참고문헌 : p. 58-60
주제 병렬 안테나 디자인
대면적 소스
플라즈마
Parallel antenna design
Large area plasma
TCP
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