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GaAs/AlGaAs micromachining을 이용한 light emitting cantilever의 제작 = Fabrication of light emitting cantilever using GaAs/AlGaAs micromachining
서명 / 저자 GaAs/AlGaAs micromachining을 이용한 light emitting cantilever의 제작 = Fabrication of light emitting cantilever using GaAs/AlGaAs micromachining / 전수근.
저자명 전수근 ; Jeon, Soo-Kun
발행사항 [대전 : 한국과학기술원, 1998].
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8008878

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MEE 98088

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초록정보

We fabricate the light emitting cantilever using GaAs/AlGaAs micromachining. GaAs microstructure has been demonstrated for bulk and surface micromachining. But this microstructure has been passive device. So, By making the cantilever emit thr light, it can perform as both cantilever and light source. High doped GaAs cantilever is made for the current injection path to the active layer by using the eching profile of GaAs according to the lattice direction. It's power is about 0.1mW~0.2mW at 100mA current injection. This device is expected to be used as optical switch and sensor.

서지기타정보

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청구기호 {MEE 98088
형태사항 ii, 71 p. : 삽도 ; 26 cm
언어 한국어
일반주기 저자명의 영문표기 : Soo-Kun Jeon
지도교수의 한글표기 : 권영세
지도교수의 영문표기 : Young-Se Kwon
학위논문 학위논문(석사) - 한국과학기술원 : 전기및전자공학과,
서지주기 참고문헌 수록
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