RTP(Rapid Thermal Processor) is the most attractive alternative to conventional furnace processing. To insure high reliability and to get high quality of device, it is required to minimize any undesirable operation when the system is operating. In this paper, RTP is modeled DEDS(Discrete Event Dynamic System) using information of normal or abnormal operation of the system. Using this model, we classify the abnormal operation of RTP by fault and failure. Finally, we design the fault tolerant supervisor which can drive from the initial state to the marker state, in spite of abnormal operation occured during the work process.
고속 열처리 공정기는 기존의 로(furnace)에서의 공정을 대신할 수 있는 매력적인 장치이다. 고신뢰성과 디바이스의 좋은 품질을 보장하기 위해서는 이 장비가 동작 중에 원하지 않는 동작을 최소화하는 것이 필요하다. 이 논문에서는 정상동작과 비정상적인 동작의 정보를 이용하여 고속 열처리 공정기를 이산사건 모델로 모델링하였다. 이 모델을 이용하여, 고속 열처리 공정기의 비정상적인 동작들을 fault와 failure로 분류하였다. 최종적으로, 공정 도중에 비정상적인 동작이 발생하더라도 시작상태로부터 원하는 최종상태까지 도달하게 할 수 있는 내고장성 관리제어기를 설계하였다.
