본문 바로보기

menu

  • menu
  • menu
  • menu

소장자료

상세 정보
서명 / 저자 Cycle-CVD법을 이용한 tantalum oxide 원자층 단위 증착 및 특성에 관한 연구 = A study on atomic layer deposition and film characteristics of tantalum oxide using cycle-CVD / 송현정.
저자명 송현정 ; Song, Hyun-Jung
발행사항 [대전 : 한국과학기술원, 1998].
online access
Online Access /thesis_pdf_01/1998/1998M00096...  원문
서가 정보
등록번호 소장위치/청구기호 도서상태 반납예정일
8008722 학술문화관(문화관) 보존서고
MMS 98022  

SMS전송

이용가능
대출가능확인

초록

상세 정보
형태사항 iv, 78 p. : 삽도 ; 26 cm
언어 한국어
일반주기 저자명의 영문표기 : Hyun-Jung Song
지도교수의 한글표기 : 강상원
지도교수의 영문표기 : Sang-Won Kang
학위논문 학위논문(석사) - 한국과학기술원 : 재료공학과,
서지주기 참고문헌 : p. 77-78
주제 Cycle-CVD
탄탈륨 산화물
원자층 단위 증착
누설전류
후열처리특성
Cycle-CVD
$Ta_2O_5$
ALD
Leakage current
Annealing
QR CODE QR code

print

청구기호 Browsing (유사한 주제의 도서 정보를 브라우징 할 수 있습니다.)
이전 다음
이 주제의 인기대출도서
한줄서평
상단으로 이동