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소장자료

상세 정보
서명 / 저자 DC magnetron sputtering법을 이용한 Ir 하부전극의 형성 및 특성평가와 $(Ba,Sr)TiO_3$ 박막의 특성 평가 = Preparation and characterization of iridium bottom electrode by DC magnetron sputtering and characterization of $(Ba,Sr)TiO_3$ thin film / 박정호.
저자명 박정호 ; Park, Jeong-Ho
발행사항 [대전 : 한국과학기술원, 1998].
online access
Online Access /thesis_pdf_01/1998/1998M00096...  원문
서가 정보
등록번호 소장위치/청구기호 도서상태 반납예정일
8008716 학술문화관(문화관) 보존서고
MMS 98016  

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이용가능
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초록

상세 정보
형태사항 91 p. : 삽도 ; 26 cm
언어 한국어
일반주기 저자명의 영문표기 : Jeong-Ho Park
지도교수의 한글표기 : 김호기
지도교수의 영문표기 : Ho-Gi Kim
학위논문 학위논문(석사) - 한국과학기술원 : 재료공학과,
서지주기 참고문헌 : p. 88-91
주제 DC magnetron sputtering
Ir bottom electrode
BST
Different substrates
C-V
I-V
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