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소장자료

상세 정보
서명 / 저자 AFM scanner용 초정밀 XYZ 스테이지의 설계, 특성분석 및 제어에 관한 연구 = A precision XYZ-stage for AFM scanner design, analysis and control / 심종엽.
저자명 심종엽 ; Shim, Jong-Youp
발행사항 [대전 : 한국과학기술원, 1998].
online access
Online Access /thesis_pdf_01/1998/1998M00096...  원문
서가 정보
등록번호 소장위치/청구기호 도서상태 반납예정일
8008595 학술문화관(문화관) 보존서고
MME 98043  

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이용가능
대출가능확인

초록

상세 정보
형태사항 vii, 63 p. : 삽도 ; 26 cm
언어 한국어
일반주기 저자명의 영문표기 : Jong-Youp Shim
지도교수의 한글표기 : 권대갑
지도교수의 영문표기 : Dae-Gab Gweon
학위논문 학위논문(석사) - 한국과학기술원 : 기계공학과,
서지주기 참고문헌 : p. 33-34
주제 초정밀 3축 스테이지
원자현미경
압전소자
최적설계
PID제어
Precision XYZ-stage
AFM
PZT
Optimal design
PID feedback controller
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