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반응이온식각공정을 이용한 폴리머 광도파로 분할기의 제작 = Fabrication of polymeric waveguide splitters by $O_2$-reactive ion etching method
서명 / 저자 반응이온식각공정을 이용한 폴리머 광도파로 분할기의 제작 = Fabrication of polymeric waveguide splitters by $O_2$-reactive ion etching method / 이운영.
저자명 이운영 ; Lee, Woon-Yeong
발행사항 [대전 : 한국과학기술원, 1997].
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8007777

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MEE 97066

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초록정보

Polymeric waveguides are fabricated by $O_2$-reactive ion etching. NOA73(UV curable epoxy) and PMMA are used for the waveguide core layer and the cladding layer, respectively. The dependence of waveguide mode profiles and insertion losses on the fabrication parameters is investigated. A numerical simulation of multimode propagation in the planar structure is performed to study multimode interference effects. Based on these results, 1×2 and 1×4 optical splitters are fabricated. Advantages of these splitters are small size and large fabrication tolerances. The mode profiles of fabricated waveguides are observed and the power splitting ratios of fabricated splitters are measured. The power splitting ratio of 1×2 optical splitter is 1 : 0.921 and that of 1×4 optical splitter is 1: 0.675 : 0.820 : 0.677.

서지기타정보

서지기타정보
청구기호 {MEE 97066
형태사항 iii, 51 p. : 삽도 ; 26 cm
언어 한국어
일반주기 저자명의 영문표기 : Woon-Yeong Lee
지도교수의 한글표기 : 신상영
지도교수의 영문표기 : Sang-Yung Shin
학위논문 학위논문(석사) - 한국과학기술원 : 전기및전자공학과,
서지주기 참고문헌 : p. 49-51
주제 폴리머
반응이온식각
다중모드간섭
광분할기
Polymer
RIE
MMI
Optical splitter
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