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전자 싸이클로트론 공명 산소 플라즈마에서 플라즈마 모드에 관한 연구 = Study on the plasma mode in oxegen electron cyclotron resonance plasma
서명 / 저자 전자 싸이클로트론 공명 산소 플라즈마에서 플라즈마 모드에 관한 연구 = Study on the plasma mode in oxegen electron cyclotron resonance plasma / 이상원.
저자명 이상원 ; Lee, Sang-Won
발행사항 [대전 : 한국과학기술원, 1997].
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8007309

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MPH 97019

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초록정보

The change of plasma parameter spatial profile was stutied on $O_2$ electron cyclotron resonance plasma. At the transition point of density and ion saturation current, the spatial profile of electron density, ion saturation current and emission intensity is also changed. At 1.6 mTorr, the first transition is occured near 420 Watt and the shape of spatial ion saturation current profile is changed from flat to high centered. As encreasing pressure, the power where the transition apprear is decreased but the ion saturation current at this point is nearly same. This implies an mode transition which is caused by transformation of polarization from transverse wave to longitudinal one. As a reason of high centered $I_is$ profile, transition power difference for radial position is suggested. Second transition is obsereved near 540 Watt. $I_is$ is slowly increasing from this point, and spatial profile is changed from high centered to hollow one.

서지기타정보

서지기타정보
청구기호 {MPH 97019
형태사항 iv, 57 p. : 삽도 ; 26 cm
언어 한국어
일반주기 저자명의 영문표기 : Sang-Won Lee
지도교수의 한글표기 : 장홍영
공동교수의 한글표기 : 장충석
지도교수의 영문표기 : Hong-Young Chang
공동교수의 영문표기 : Choong-Seock Chang
학위논문 학위논문(석사) - 한국과학기술원 : 물리학과,
서지주기 참고문헌 : p. 54-57
주제 플라즈마
모드
산소
공간적 분포
Plasma
Mode
Oxegen
Spatial distribution
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