This dissertation examines the effects of errors occurring in the Overhead Hoist Transport (OHT) vehicles, used for logistics transportation within semiconductor manufacturing processes, and suggests operational policies to address these issues. OHT vehicle errors are common problems in various manufacturing processes such as semiconductor fabrication, leading to decreased vehicle utilization due to inspection and repair downtimes. Furthermore, when a vehicle halts at a specific location due to an error, it can adversely impact the logistics transportation of other OHT vehicles. Therefore, there is a need for error response operational policies that consider these implications. In this study, we analyze the impact of vehicle errors at specific locations on logistics transportation, considering the layout structure of the OHT system in semiconductor processes, the traffic volume on each track, and the vehicle’s path planning algorithm. Additionally, using a simulation testbed, we propose error response operational policies that consider the impact of error occurrence locations on logistics transportation.
본 학위 논문에서는 반도체 공정 내 물류 반송 장비인 Overhead Hoist Transport (OHT) 차량의 이상 발생에 따른 시스템 악영향과 이에 대응하는 운영 정책에 대하여 다룬다. OHT 차량 이상 발생은 반도체 팹 등 다양한 제조 공정에서 발생하는 문제이며, 검사 및 수리시간으로 인한 차량 가동률 감소를 야기한다. 또한 이상 발생 이후 특정 위치에서 차량이 멈추게 되는 경우 타 OHT 차량 물류 반송에 심각한 악영향을 끼칠 수 있기 때문에 이를 고려한 이상 대응 운영 정책이 필요하다. 본 연구에서는 반도체 공정 내 OHT 시스템의 레이아웃 구조, 각 트랙 별 물동량, 차량 주행 방식을 고려하여 특정 위치에서의 차량 이상 발생이 물류 반송에 미치는 영향에 대하여 분석한다. 또한 시뮬레이션 테스트베드를 활용하여 이상 발생 위치가 물류 반송에 미치는 영향을 고려한 이상 대응 운영 정책을 제안한다.
