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소장자료

상세 정보
서명 / 저자 활성영역이 유리 기판 내에 매몰된 새로운 구조의 다결정 실리콘 박막 트랜지스터 = Novel TFT with active layer buried in glass substrate / 한기호.
저자명 한기호 ; Han, Ki-Ho
발행사항 [대전 : 한국과학기술원, 1996].
online access
Online Access /thesis_pdf_01/1996/1996M00094...  원문
서가 정보
등록번호 소장위치/청구기호 도서상태 반납예정일
8006299 학술문화관(문화관) 보존서고
MEE 96084  

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이용가능
대출가능확인

초록

상세 정보
형태사항 iv, 56 p. : 삽도 ; 26 cm
언어 한국어
일반주기 부록 수록
저자명의 영문표기 : Ki-Ho Han
지도교수의 한글표기 : 김충기
공동교수의 한글표기 : 한철희
지도교수의 영문표기 : Choong-Ki Kim
공동교수의 영문표기 : Chul-Hi Han
학위논문 학위논문(석사) - 한국과학기술원 : 전기 및 전자공학과,
서지주기 참고문헌 : p. 50-51
주제 매몰 박막 트랜지스터
화학-기계적 연마
다결정실리콘
Buried island thin film transistor(BITFT)
Chemical mechanical polishing(CMP)
Polycrystalline silicon
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