서지주요정보
Study on $SF_6$ gas discharge and its electron temperature control using Zero-D simulation method = 영차원 모델링을 통한 $SF_6$ 가스 방전 및 전자온도 조절에 관한 연구
서명 / 저자 Study on $SF_6$ gas discharge and its electron temperature control using Zero-D simulation method = 영차원 모델링을 통한 $SF_6$ 가스 방전 및 전자온도 조절에 관한 연구 / Yeong-Su Jeong.
저자명 Jeong, Yeong-Su ; 정영수
발행사항 [대전 : 한국과학기술원, 1996].
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MPH 96029

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초록정보

As the need for reducing size of semiconductor chips increases, the use of plasmas for manufacturing semiconductor devices becomes more desirable. Thus the design and control of plasma generating chamber is essential for the best fit to our need. Though numerical simulation method is still in its early stage, its importance cannot be underestimated. In this article, volume averaged densities and electron temperature of $SF_6$ gas discharge are studied and the possibility of electron temperature control is tested, in which a negatively biased mesh grid is centered inside the reactive chamber. While the left room has its power source, the right room is supplied only by an energy influx from the electrons passing through the mesh grid whose voltage is manipulated. We observe the electron temperature change of the right room as the grid voltage becomes more negative.

서지기타정보

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청구기호 {MPH 96029
형태사항 iii, 40 p. : 삽도 ; 26 cm
언어 영어
일반주기 저자명의 한글표기 : 정영수
지도교수의 영문표기 : Choong-Seock Chang
지도교수의 한글표기 : 장충석
학위논문 학위논문(석사) - 한국과학기술원 : 물리학과,
서지주기 Includes reference
주제 Zero-D modeling
SF6 discharge
Mesh grid
Electron Temperature
영차원 모델
SF6 방전
전자온도
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