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전자기력을 이용한 3축 초정밀 구동기의 설계, 해석 및 제어에 관한 연구 = A study on the design, analysis and control of three axis actuator using electro-magnetic force
서명 / 저자 전자기력을 이용한 3축 초정밀 구동기의 설계, 해석 및 제어에 관한 연구 = A study on the design, analysis and control of three axis actuator using electro-magnetic force / 이기하.
저자명 이기하 ; Lee, Ki-Ha
발행사항 [대전 : 한국과학기술원, 1996].
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등록번호

8006105

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학술문화관(문화관) 보존서고

MME 96054

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초록정보

To obtain a three axis precise motion, three actuators or one actuator and planar actuator have to be combined. But these approaches have several problems. So three DOF linear actuating mechanism which is capable of high precision motion is developed. Magnetic system generates magnetic flux path by permanent magnets and iron yokes. The magnetic circuit theory is applied to predict the magnetic flux density. The current directions of actuator are proposed to drive a moving coil by Lorentz force. The Position Sensitive Detector(PSD) sensors are used to measure the actuator position. In order to maximize an acceleration performance under a given constraints, system parameters are varied. The working range of the actuating mechanism is ±1mm. The transfer functions for each axis are obtained experimentally. Also digital PID control scheme is used to control the motion of each axis. Maximum errors of each axis are bound within ±2㎛.

서지기타정보

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청구기호 {MME 96054
형태사항 v, 64 p. : 삽도 ; 26 cm
언어 한국어
일반주기 저자명의 영문표기 : Ki-Ha Lee
지도교수의 한글표기 : 김수현
지도교수의 영문표기 : Soo-Hyun Kim
학위논문 학위논문(석사) - 한국과학기술원 : 기계공학과,
서지주기 참고문헌 : p. 63-64
주제 자기회로
피에스디 센서
최적설계
이산제어기
Magnetic Circuit
PSD Sensore
Optimal Design
Digital Controller
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