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실리콘의 이방성 식각 특성을 이용한 정전 구동형 초소형 거울의 개발 = Development of electrostatically-driven vertical micro mirrors using anisotropic silicon etching
서명 / 저자 실리콘의 이방성 식각 특성을 이용한 정전 구동형 초소형 거울의 개발 = Development of electrostatically-driven vertical micro mirrors using anisotropic silicon etching / 서경선.
저자명 서경선 ; Seo, Kyoung-Sun
발행사항 [대전 : 한국과학기술원, 1996].
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등록번호

8006091

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학술문화관(문화관) 보존서고

MME 96040

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초록정보

A bulk-micromachined electrostatic micromirror has been developed and tested for use in optomechanical microdevices. The silicon micromirror, suspended by two pairs of boron-diffused microbeams, has been fabricated by an anisotropic etching of (110) silicon wafers. The vertical micromirror can be driven parallel to the silicon substrate by the electrostatic force. In a static performance test, stable operation of the micromirror has been observed up to the threshold deflection of 26.5㎛ with the measured threshold voltage of 330V. In a dynamic test, the resonant frequency of the suspended micromirror has been measured as 590Hz, which can be tuned in the ranges of 588~450Hz within the dc bias voltage levels of 50~300V. The present micromirror is applicable to a wide variety of static and dynamic optomechanical microdevices, including optical microswitches, optical shutters, laser-beam choppers, optical filters and optical couplers.

서지기타정보

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청구기호 {MME 96040
형태사항 v, 56 p. : 삽도 ; 26 cm
언어 한국어
일반주기 저자명의 영문표기 : Kyoung-Sun Seo
지도교수의 한글표기 : 윤성기
공동교수의 한글표기 : 조영호
지도교수의 영문표기 : Sung-Kie Youn
공동교수의 영문표기 : Young-Ho Cho
학위논문 학위논문(석사) - 한국과학기술원 : 기계공학과,
서지주기 참고문헌 : p. 26-28
주제 마이크로머신
초소형 거울
수직 거울
정전구동형 액츄에이터
기판 가공
MEMS
Micromirror
Vertical mirror
Electrostatic actuator
Bulk etching
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