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모아레방법을 이용한 박막의 기계적 성질 측정에 관한 연구 = A study on measurement of mechanical properties of thin membrane using Moire method
서명 / 저자 모아레방법을 이용한 박막의 기계적 성질 측정에 관한 연구 = A study on measurement of mechanical properties of thin membrane using Moire method / 김재현.
저자명 김재현 ; Kim, Jae-Hyun
발행사항 [대전 : 한국과학기술원, 1996].
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8006068

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MME 96017

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초록정보

Measurement of deformation of micro beam or thin membrane in Micro-electro-mechanical system(MEMS) has to be carried out by non-contacting device. In this study, a method is proposed to measure out-of-plane displacement of mirror surfaced thin film without contacting. This method, basically a shadow Moire, is applicable to mirror surfaced specimen. The specimen is circular-shaped Au membrane of 0.365 micron thickness and 3.5 mm diameter made by thermal evaporation of Au on silicon substrate of 500 micron thickness and subsequent removal of the silicon by eletropolishing. The experiments are performed by blistering the specimen and measuring the out-of-plane displacement. The measured shape of the deformed membrane is approximated by a simple mathematical function, from which the Young's modulus, residual stress and rupture strength are obtained. In other to measure the interfacial toughness of Au/Si, a different blistering test seems to be necessary, which is discussed in this study.

서지기타정보

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청구기호 {MME 96017
형태사항 v, 64 p. ; 25 cm
언어 한국어
일반주기 부록 : A, 거울면 그림자식 모아레의 지배방정식 유도[16]. - B, CCD 카메라의 미세한 기울어짐 보정. - C, 제한 블리스터시험에서의 에너지방출률 계산
저자명의 영문표기 : Jae-Hyun Kim
지도교수의 한글표기 : 엄윤용
지도교수의 영문표기 : Youn-Young Earmme
학위논문 학위논문(석사) - 한국과학기술원 : 기계공학과,
서지주기 참고문헌 : p. 28-30
주제 모아레
거울면
영계수
잔류응력
파단강도
계면파괴인성치
블리스터시험
박막
Moire
Mirror surface
Young's modulus
Residual stress
Rupture strength
Interfacial fracture toughness
Blister test
Thin membrane
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