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Fabrication of a highly sensitive flexible temperature sensor using low-temperature plasma process = 저온 플라즈마 공정을 이용한 고민감도 유연 온도센서 제작
서명 / 저자 Fabrication of a highly sensitive flexible temperature sensor using low-temperature plasma process = 저온 플라즈마 공정을 이용한 고민감도 유연 온도센서 제작 / Jaesung Kim.
발행사항 [대전 : 한국과학기술원, 2023].
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8041315

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학술문화관(도서관)2층 학위논문

MEE 23150

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Body temperature is the easiest indicator to identify abnormalities in the human body. Due to the COVID-19 pandemic, there has been an increased public interest in healthcare, leading to an increased demand for real-time body temperature monitoring. As a result, research on contact-type flexible temperature sensors has been extensively conducted. Temperature sensors with high sensitivity are required for accurate temperature monitoring. The conventional fabrication process for highly sensitive temperature sensors involve a high-temperature process above 400 degrees Celsius. However, most flexible substrates have a glass transition temperature below 400 degrees, making the application of the conventional process impossible. To address this issue, numerous studies have focused on the solution-based fabrication methods. However, due to the inherent limitations of the process, significant performance deviations have occurred among the temperature sensors. In this thesis, we aim to demonstrate the potential for utilizing high-sensitivity flexible temperature sensors by developing a new low-temperature process with high performance uniformity.

체온은 인체의 이상을 가장 쉽게 확인할 수 있는 지표이다. COVID-19 팬데믹 상황으로 인해 건강관리에 대한 대중의 관심이 증가하면서 실시간 체온 모니터링을 위한 온도센서의 수요가 증가하였다. 그 영향으로, 부착된 상태로 온도를 측정할 수 있는 접촉식 유연 온도센서에 대한 연구가 많이 이루어지고 있다. 체온 모니터링을 위해서는 고민감도를 갖는 온도센서가 필요하다. 기존의 고민감도 온도 감지물질의 제작 공정은 400도 이상의 고온 공정이 필수적이다. 그러나, 대부분의 유연기판의 유리전이온도는 400도 미만으로, 기존 공정의 적용이 불가능하다. 이를 해결하기 위해서 고민감도 온도 감지물질이 포함된 용액을 이용한 온도센서 제작 공정이 다수 연구되었으나, 공정의 본질적인 한계로 인해 온도센서 간 큰 성능의 편차가 발생하였다. 본 학위 논문에서는 고민감도 온도 감지물질을 균일하게 제작하기 위한 새로운 저온 공정을 개발하여, 유연기판 상에 고민감도 온도 감지물질을 구현하여 고민감도 유연 온도센서로서 활용 가능성을 보이고자 한다.

서지기타정보

서지기타정보
청구기호 {MEE 23150
형태사항 iii, 25 p. : 삽도 ; 30 cm
언어 영어
일반주기 저자명의 한글표기 : 김재성
지도교수의 영문표기 : Jun-Bo Yoon
지도교수의 한글표기 : 윤준보
Including appendix
학위논문 학위논문(석사) - 한국과학기술원 : 전기및전자공학부,
서지주기 References : p. 21-22
주제 Flexible temperature sensor
Low-temperature plasma
High sensitivity
High uniformity
유연 온도센서
저온 플라즈마
고민감도
높은 균일성
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