Automated Material Handling System (AMHS) performs numerous transport jobs to complete products within a semiconductor fab. The efficient operation of the AMHS is a significant problem because it is directly related to the production capacity of semiconductor fabs. Therefore, research to advance the AMHS operation using simulation is being conducted steadily. However, existing studies used a simula tion environment that only modeled material handling parts without modeling the manufacturing parts in the semiconductor fab. They could not observe the production capacity according to AMHS advance ment in such a simulation environment. In addition, the importance of the manufacturing execution system (MES) is also receiving a lot of attention, along with ongoing research on AMHS operations. An AMHS operation algorithm using MES information in a semiconductor fab has recently been proposed. However, there is a limitation because there is no actual MES information in the existing simulation envi ronment. This study established a simulation environment that models both AMHS and manufacturing parts. Using this environment, we present practical methods to operate AMHS using manufacturing execution system (MES) information. As a result, we observed whether the efficient operation of AMHS leads to an improvement in the production capacity of semiconductor fabs and whether the use of MES affects AMHS operation.
반도체 팹 내 물류 자동화 시스템은 제품을 완성하기 위해 수많은 반송 작업을 수행한다. 물류 자동화 시스템 의 효율적인 운영은 반도체 팹의 생산 능력과 직접적으로 연결되기에 매우 중요하다. 이에 따라 시뮬레이션 기반의 물류 자동화 시스템 운영 고도화 연구가 지속적으로 수행되고 있다. 그러나 기존 연구들은 반도체 팹 내의 제조와 관련된 부분은 모델링하지 않고, 반송 작업과 관련된 부분만을 모델링한 시뮬레이션 환경을 사용하였다. 이러한 시뮬레이션 환경에서는 물류 자동화 시스템의 고도화에 따른 생산 능력 개선을 관찰할 수 없다. 한편, 반도체 팹 내 제조 실행 시스템의 중요성 역시 큰 주목을 받고 있다. 이에 따라 최근에는 반도체 팹 내에서 제조 실행 시스템 정보를 활용한 물류 자동화 시스템 운영 알고리즘이 제안되고 있다. 그러나 기존의 시뮬레이션 환경에서는 제조 실행 시스템 정보를 실제로 반영하지 못하는 한계가 존재한다. 본 연구에서는 반송 작업과 제조 수행에 관련된 부분을 모두 모델링한 시뮬레이션 환경을 구축하였다. 이를 활용하여 제조 실행 시스템 정보를 활용한 물류 자동화 시스템 운영의 실용적인 방법을 제안한다. 이를 통해 물류 자동화 시스템의 효율적인 운영이 반도체 팹의 생산 능력 향상에 어떤 영향을 미치는지, 그리고 제조 실행 시스템의 정보를 사용하는 것이 물류 자동화 시스템 운영에 어떤 영향을 미치는지 관찰한다.
