Oscillatory behavior of silicon nanowire which has a floating body is feasible by single transistor latch (STL) phenomenon. Palladium nanoparticles are embedded into the silicon nanowire to implement function of detecting hydrogen gas. The mechanism of oscillation frequency changes is studied and verified by analyzing measurement results. By evaluating and oscillation frequency changes and various performances, the hydrogen sensor as a new sensing metric is proposed. hydrogen sensor based on oscillatory behavior of silicon nanowire can significantly reduce power consumption, area. These features are suitable for internet of things (IoT) devices.
바디 부유층을 가지는 실리콘 나노 와이어 트랜지스터는 싱글 트랜지스터 래치 (STL) 현상에 의해 오실레이션 동작이 구현 가능하다. 이러한 소자에 팔라듐 나노 입자를 삽입하여, 수소 가스를 검출하는 기능을 부여한다. 수소 노출에 따라 오실레이션 주파수가 변화하는 원리를 규명하고, 측정을 통해 그 변화를 확인한다. 수소 농도에 따라 주파수가 변화하는 것뿐만 아니라 수소 센서로서 가져야할 다양한 성능을 평가 및 검증하여 새로운 측정 수단을 갖는 수소 센서를 제안한다. 실리콘 나노 와이어의 오실레이션 기반 수소 센서는 기존 수소 센서에 비해 면적을 많이 차지하지 않고 전력 소모를 대폭 낮출 수 있기 때문에 사물인터넷 (IoT) 기기에 사용되는 센서로서 활용되기에 유리하다.
