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초정밀 위치 결정을 위한 이중 서보 제어용 미세 구동 메카니즘 = A fine motion mechanism of dual servo control for ultraprecision positioning
서명 / 저자 초정밀 위치 결정을 위한 이중 서보 제어용 미세 구동 메카니즘 = A fine motion mechanism of dual servo control for ultraprecision positioning / 오정석.
저자명 오정석 ; Oh, Jeong-Seok
발행사항 [대전 : 한국과학기술원, 1995].
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MPE 95019

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초록정보

In order to respond to the increasing demands of ultraprecision positioning mechanism in the field of precision engineering, more accurate stages are needed whose positioning uncertainty should be in the unprecedented level of nanometers, while maintaining a long travel range. For this application, most conventional stage mechanisms are found not suitable, so the concept of dual servo, which uses two different servos, is one of the new design and control strategies being extensively investigated these days. This paper presents a fine motion mechanism as a part of research on the dual servo control. The stage is made of a single structure of elastic flexure, whose xyθ motions are induced in the form of elastic deformation activated by three piezoelectric actuators. Experimental results prove that the translational and rotational motions of the stage can be controlled with resolution of 5 nanometers and 0.1 arcsec, respectively.

서지기타정보

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청구기호 {MPE 95019
형태사항 v, 61 p. : 삽도 ; 26 cm
언어 한국어
일반주기 저자명의 영문표기 : Jeong-Seok Oh
지도교수의 한글표기 : 김승우
지도교수의 영문표기 : Seung-Woo Kim
학위논문 학위논문(석사) - 한국과학기술원 : 정밀공학과,
서지주기 참고문헌 : p. 29-31
주제 Piezoelectric ceramics.
Nanotechnology.
Translating machines.
서보 제어. --과학기술응용시소러스
위치 제어. --과학기술응용시소러스
압전 소자. --과학기술응용시소러스
탄성 변형. --과학기술응용시소러스
듀얼 모드 제어. --과학기술용어시소러스
Servomechanisms.
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