Analysis of fracture behavior in tensile and tensile tests of nanoscale was one of the most important factors in the success of the tensile experiment. This paper introduces results specific to tensile testing due to the ability to control the fracture behavior of nanoscale tensile device made of various technologies including micro-electro-mechanical systems (MEMS) and inventive microstructures. The increased weight that were not possible with conventional tensile testing equipment could solved with structural originality and the use of two DRIE technologies and the creative arrangement of the process sequence. Significant benefits were gained in observing fracture behavior by significantly increasing the weight of the structure and increasing its stability. The experimental results were confirmed through dynamic simulation and analysis of the tensile testing of the process results.
나노 단위의 길이 변형과 인장 실험에 있어서 파괴 거동 분석은 실험 성공 여부에 가장 중요한 요소 중 하나이다. 이 논문에서는 MEMS (micro-electro-mechanical system) 를 포함한 다양한 기술과 특이한 구조로 제작된 나노 크기의 인장 구조물의 파괴 거동 조절 능력으로 인한 인장 실험에 특화된 결과물을 소개한다. 기존 인장 테스트 장비로는 증가시킬 수 없었던 무게를 구조적 독창성 및 2번의 DRIE 기술 이용과 공정 순서의 창의적 배치로 해결할 수 있었다. 구조물의 무게를 대폭 상향하고 안정성을 상향하여 파괴 거동 관측에 있어 상당한 이점을 가져올 수 있었다. 실험 결과는 역학 시뮬레이션과 공정 결과물의 인덴터 인장 분석을 통해 확인되었다.
