화학증착법을 이용하여 $LaAlO_3$ 기판 위에 $YBa_2Cu_3O_{7-x}$ 초전도체 박막을 증착하였으며 이 박막을 광식각 공정 및 이온밀링 작업을 통하여 마이크로파 검지소자로서 작동할 수 있는 브릿지를 제작하였다. 이 브릿지의 크기는 $4\times4\times0.3\mum$ 정도이다. 임계온도는 90K 이상 임계전류는 수 암페어 이상을 얻었다. 이 브릿지에 마이크로파를 조사하여 Shapiro Step을 관측하였으며 임계전류 값이 줄어드는 것을 확인하여 이것이 Weak link type의 조셉슨 접합을 갖는다는 것을 알았으며, 이러한 마이크로파에 대한 응답특성은 박막성질에 따라 크게 변화하였다. 증착시 증착온도를 변화시켜 박막의 미세구조를 변화시켰으며 이들 박막으로 만들어진 브릿지의 응답특성을 조사해 본 결과 900℃에서 증착된 박막이 기판에 a축 배향 입자들이 도입되면서 normal risistance가 증가하였으며 응답특성이 우수하였다.
