Transparent electrodes are key elements in optoelectronic devices such as touch panels, organic solar cells, smart windows, transparent heaters, etc. The development of transparent electrodes has moved towards including good flexibility and low sheet resistance in addition to high transmittance. Much research has been done on alternative materials such as conductive polymers, carbon nanotubes, graphene films , metal nanowires, and metal grids. Among them, metal mesh is considered as a promising alternative transparent electrode with high optical transmittance, low sheet resistance, and good flexibility. This paper introduces a UV embossing process to fabricate metal mesh transparent electrodes with a fine line width ($∼ 2 \mu m $) and large area (∼ 15 inch). The transmittance at wavelength of 550 nm is 95.8% and the sheet resistance is $5.6 \Omega /sq$. Further, optical issues of the metal mesh such as visibility and starburst are minimized by designing patterns.
투명전극은 터치패널, 유기태양전지, 스마트윈도우, 투명히터 등 다양한 전자 기기에서 매우 중요한 요소이다. 요즘 투명전극의 개발 동향은 단순히 고 투과율을 넘어 유연함과 매우 낮은 면저항을 요구하는 연구가 활발히 진행되고 있다. 최근에 전도성 폴리머, 카본 나노튜브, 그래핀, 나노와이어, 메탈 메쉬와 같은 기존의 투명전극을 대체하기 위한 많은 연구가 진행중이고, 그 중에 높은 투과율은 물론이고 낮은 면저항과 좋은 유연성 때문에 메탈 메쉬가 유력한 차세대 투명전극 소재로 고려되고 있다. 본 논문에서는 UV 엠보싱과 닥터링 공정을 이용하여 $2 \mu m$ 급의 미세선폭과 15inch 급의 대면적의 메탈 메쉬 투명전극을 제작한 결과를 소개한다. 제작된 투명전극은 550nm 가시광파장에서 95.8%의 투과율을 나타냈으며, 이 때의 면저항은 5.6Ω/sq로 매우 좋은 특성을 가졌다. 또한, 메탈 메쉬의 단점으로 여겨지던 선이 보이는 시인성 문제와 스타버스트 광학적 이슈 문제도 이를 최소화 할 수 있는 패턴을 설계함으로써 해결하였다.
