백금 실리사이드 쇼트키 다이오드를 이용한 16×1 적외선 line sensor의 설계 및 제작 = Design and fabrication of a 16×1 infrared line sensor with PtSi schottky diode

• 서명 / 저자: 백금 실리사이드 쇼트키 다이오드를 이용한 16×1 적외선 line sensor의 설계 및 제작 = Design and fabrication of a 16×1 infrared line sensor with PtSi schottky diode / 정재홍.
• 발행사항: [서울 : 한국과학기술원, 1989].

A 16×1 infrared line sensor has been designed and fabricated with PtSi Schottky diode. A 16 bit nMOS metal gate 2-phase dynamic shift register is used to read the signal of each pixel sequentially. Proper operation of the 16 bit shift register and sensor has been confirmed by SPICE simulation. The double layer liftoff technique is used to protect the gate oxide during Pt sputtering.
The fabricated device showed no damage in the gate oxide during Pt sputtering. The 16 bit shift register and sensor operated successfully. The Schottky diode has shown infrared response when illuminated by a 250W tungsten infrared lamp.

• 형태사항: [ii], 67 p. : 삽화 ; 26 cm
• 언어: 한국어
• 일반주기: 저자명의 영문표기 : Jae-Hong Jeong ; 지도교수의 한글표기 : 김충기 ; 지도교수의 영문표기 : Choong-Ki Kim
• 학위논문: 학위논문(석사) - 한국과학기술원 : 전기및전자공학과,
• 서지주기: 참고문헌 : p. 66-67
• 주제: Diodes, Schottky-barrier. ; Metax oxide semiconductors. ; Shift registers. ; MOS 구조. --과학기술용어시소러스 ; 적외선 탐지기. --과학기술용어시소러스 ; 쇼트기 장벽 다이오드. --과학기술용어시소러스 ; 시프트 레지스터. --과학기술용어시소러스 ; Infrared horizon sensors.