레이저 Lithography 를 이용한 광도파로 제작 = Fabrication of optical waveguides using laser lithography

• 서명 / 저자: 레이저 Lithography 를 이용한 광도파로 제작 = Fabrication of optical waveguides using laser lithography / 강원구.
• 발행사항: [서울 : 한국과학기술원, 1987].

Lithography method for integrated optics using focused laser beam has been developed. The effects of the writing power and/or writing speed on the strip linewidth were investigated. Strip line, X-crossing strip line, and Y-branch patterns have been fabricated on photoresist-coated X-cut LiNbO3 crystal wafer. And optical waveguides are fabricated by Ti indiffusion method. Also, near field patterns and intensity profiles are observed by end fire coupling.

• 형태사항: [ii], 50 p. : 삽화 ; 26 cm
• 언어: 한국어
• 일반주기: 저자명의 영문표기 : Won-Gu Kang ; 지도교수의 한글표기 : 신상영 ; 공동교수의 한글표기 : 권영세 ; 지도교수의 영문표기 : Sang-Yung Shin ; 공동교수의 영문표기 : Young-Se Kwon
• 학위논문: 학위논문(석사) - 한국과학기술원 : 전기및전자공학과,
• 서지주기: 참고문헌 : p. 49-50
• 주제: Lithography, Electron beam. ; Laser beams. ; Photoresists. ; Strip transmission lines. ; 마이크로 스트립 선로. --과학기술용어시소러스 ; 빔 도파관. --과학기술용어시소러스 ; 레이저 빔 가공. --과학기술용어시소러스 ; 포토레지스트. --과학기술용어시소러스 ; 웨이퍼 (IC) --과학기술용어시소러스 ; Optical wave guides.