The periodic ripple structures were produced on single (100) crystal of silicon by mode-locked or conventional mode pulses from ruby laser.
In mode-locked operation of laser, the spatial periods of ripples were 0.7μm, 1.4 μm, 0.9μm at incident angle 0˚, 30˚, 45˚, respectively.
These values were in good agreement with the usual surface scattered wave model.
In conventional mode operation, linear and circular ripples with spatial periods 4.5μm and 6μm at near normal incidence were produced and the results are consistent with the laser-acoustic mode coupling model.
루비 레이저의 모드로킹된 펄스와 일반 모드 펄스로 단결정 실리콘의 (100) 표면에 주기적 파상을 생성시켰다. 모드로킹된 레이저의 경우, 입사각 0˚,30˚,45˚에 대하여 파상의 주기는 각각 0.7μm,1.4μm,0.9μm 였다.
이 값들은 통상적인 표면 산란파 모델과 일치한다.
일반 모드 펄스를 거의 수직으로 입사한 경우 4.5μm와 6μm의 주기를 가지는 선형 또는 원형의 파상이 생성되었고, 이 결과는 레이저-음향 모드 결합 모델과 일치한다.