Remote plasma generator (or remote plasma source) has been used widely in industrial areas, especially for cleaning a process chamber or a wafer. Using ferrite core transformer coupled plasma, remote plasma generator can dissociate gas molecules containing fluorine atoms. These very reactive neutral fluorine atoms are moved to a process chamber to clean undesirable contaminants which disturb getting higher throughput and quality output. In this paper, newly designed remote plasma reactor has been suggested and compared to a typical type of reactor. This new type of reactor has its strong points from its simple design and reduced demagnetization field. To compare the performances of reactors experimentally, plasma sustenance conditions are investigated using V-I probe. As a result, much broader plasma sustenance range has been established for the case of new type reactor than that of typically used type of reactor. This suggests that there is a possibility to make a more efficient remote plasma generator.
원격플라즈마장치는 산업계에서 널리 사용되어왔는데, 특히 웨이퍼나 공정챔버를 세정하는 목적으로 사용되어왔다. 페라이트 코어를 사용한 변압기 결합 플라즈마를 소스로 사용하여, 원격플라즈마장치는 플루오르 원자를 포함한 기체를 분해할 수 있다. 매우 반응성이 좋은 중성 플루오르 원자들은 공정챔버로 이동하여, 더 높은 수득률과 품질을 얻도록 하는 데에 방해가 되는 원치않는 챔버 내의 불순물을 제거하게 된다. 기존의 토로이드 형태의 원격플라즈마장치는 그 이전의 세정방힉에 비해서는 장점을 지니지만 빈번한 이그니션 실패나 시간에 따른 성능 저하와 같은 문제점을 가지고 있었다. 이러한 문제점을 개선한 새로운 원격플라즈마를 개발하는 과정의 일환으로서, 본 논문에서는 기존의 토로이덜 형태와는 다른 새롭게 디자인된 일자형의 원격플라즈마장치가 제시되었고, 기존의 형태와 비교를 수행하였다. 이 새로운 형태의 리액터는 간단한 디자인과 디마그네타이제이션 효과를 줄일 수 있다는 데에서 강점을 지닌다. 실험적으로 두가지 다른 형태의 리액터의 성능을 비교하기 위해 전압-전류 프로브를 사용하여 플라즈마 지속조건을 조사하였다. 그 결과, 새로운 리액터가 기존 형태의 리액터에 비해 더 넓은 플라즈마지속 범위를 가졌음을 확인하였다. 이 결과는 더 효율적인 원격플라즈마장치의 개발가능성을 제시해줄 수 있다.
