We propose a technique for measuring thickness profile and refractive index of transparent thin-film structures in a single setup. The system functions as either reflectometer or interferometer as manipulating the mechanical shutter. Reflectometry that measures thickness and refractive index of thin-film is able to get reflectance with respect to incidence angle, polarization direction and wavelength as employing both an objective with high numerical aperture and an acousto-optical tunable filter (AOTF). Linnik-type white-light interferometry enables us to get surface profile information of a point at a time using wavelength scanning technique by AOTF.
단일 광학계에서 셔터를 동작시킴에 따라 반사광측정계와 간섭계를 나누어 구현할 수 있는 박막의 두께형상 및 굴절률 측정용 백색광 간섭계를 제안한다. 두께 및 굴절률 측정을 위한 반사광측정법은 필터와 높은 개구수의 대물렌즈를 적용함으로써 다파장, 다중 입사각 그리고 수평 및 수직 편광방향에 대한 반사율 정보를 쉽게 획득할 수 있으며 이로부터 두께와 굴절률을 분리해낼 수 있다. 획득한 두께 및 굴절률 정보를 바탕으로 주파수 주사식 백색광 간섭계를 통해 형상정보를 구할 수 있다.
