Demand of measurement for Large optics is increasing in industrial field. 3D profile measurement is needed, White-light scanning interferometer(WSI) is a common method. But WSI has the limitation of the measurement range, because PZT has only sub-micron motion range. Measurement of Large optics is needed a long motion range. So, in this paper we use Heterodyne Laser Interferometer to get over the short range of WSI. We suggest the new probe that consists of WSI and Heterodyne laser interferometer. The main advantage of the new probe is that we can measure the end of the probe directly for long range. The functions of WSI is triggering and 3D profile measurement. The repeatability of WSI's triggering is 87 nm, and PV value of Plane mirror's profile is 80.6 nm.
Large Optics의 측정 수요가 산업계에서 커지고 있다. 3차원 측정이 필요되어지며, 백색광 간섭계가 일반적인 방법이다. 하지만, 백색광 간섭계는 PZT구동한계에 따른 측정영역 한계를 가진다. Large optics의 측정은 긴 측정영역이 요구되어지며, 본 논문에서는 2종모드 레이저 간섭계를 사용하여, 그 단점을 극복하고자 한다. 백색광 간섭계와 2종모드 레이저 간섭계를 통합한 새로운 프로브를 제안하며,이는 긴 측정영역에서 프로브 끝을 직접 측정할 수 있는 장점을 같는다. 백색광 간섭계의 트리거링(triggering) 반복능은 87nm이며, 평면 미러의 형상 측정 PV값은 80.6 nm이다.
