An experimental setup for dielectric barrier discharge was made. A transparent electrode was used for observing the plasma cross section. Atmospheric plasma parameters were measured from electrical signal analysis. Noticeable differences were obtained between filamentary discharge and glow discharge. It was also found that the transition from filamentary discharge to glow discharge was discontinuous.
Using Ar, He, and He-02 mixing gas, discharge dependence on the type of gas was also obtained. Paschen curve that is a function of frequency and gap width was obtained, at various operation conditions.
DBD를 위한 실험장치를 설계 및 제작을 하였다. 이 장치의 한쪽 전극을 투명한 전극을 사용하여 CCD를 이용하여 플라즈마의 상태를 관찰하였고, 이를 동시에 측정한 전기적 신호와 비교하였다. 측정한 전기적 신호로부터 각 상태에서 여러 플라즈마 특성을 계산하였다. 이로부터 FD와 APGD 사이에 명백한 차이점을 관찰하였고, FD에서 APGD로의 전이가 불연속적으로 일어나는 것을 관찰하였다.
또한 Ar, He, 그리고 He과 O2의 혼합기체에서 방전을 하였으며, 방전기체에 따른 방전특성의 차이를 관찰하였다. 그리고, 주파수의 변화와 유전체 사이 간격의 변화에 따른 Paschen curve의 변화를 관찰하였다.
