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$Hg_{1-x}Cd_xTe$ 표면 보호를 위한 CdTe 박막의 형성 = Deposition of CdTe layers for passivation of $Hg_{1-x}Cd_xTe$
서명 / 저자 $Hg_{1-x}Cd_xTe$ 표면 보호를 위한 CdTe 박막의 형성 = Deposition of CdTe layers for passivation of $Hg_{1-x}Cd_xTe$ / 김하수.
발행사항 [대전 : 한국과학기술원, 1996].
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8006239

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MEE 96024

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초록정보

CdTe is deposited by electron-beam evaporation on the bulk $Hg_{1-x}Cd_xTe$ with x=0.22 and x=0.30. The insulating property of CdTe film is adequate to isolate $Hg_{1-x}Cd_xTe$ substrate from metal pads if it were deposited as slowly as the rate of 30Å/$\min$. Electrical properties of the CdTe/$Hg_{1-x}Cd_xTe$ passivation are determined by capacitance-voltage and current-voltage measurement of metal-insulator-semiconductor(MIS) test devices. We make the MIS structures of CdTe monolayer and CdTe/ZnS double layer as insulator. Although flat-band condition is achieved, Δ$V_{FB}$ is as large as 1V∼2V showing huge insulator trapped-charge density. To clean the freshly Br-MeOH etched $Hg_{1-x}Cd_xTe$ surface, in-situ ultraviolet(UV) photon-assisted hydrogen radicals pretreatment is done. And it improves the CdTe film quality to reduce Δ$V_{FB}$. The infrared photodiodes using e-beam CdTe as passivant is fabricated to show excellent characteristics.

서지기타정보

서지기타정보
청구기호 {MEE 96024
형태사항 iii, 51 p. : 삽화 ; 26 cm
언어 한국어
일반주기 저자명의 영문표기 : Ha-Soo Kim
지도교수의 한글표기 : 김충기
지도교수의 영문표기 : Choong-Ki Kim
학위논문 학위논문(석사) - 한국과학기술원 : 전기및전자공학과,
서지주기 참고문헌 : p. 50-51
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